更新時間：2023-04-25
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并提供“開關(guān)”狀態(tài)量信號給控制室顯示真空區(qū)段閥的“開關(guān)”狀態(tài)。控制原理就是使用冷規(guī)作為真空傳感器，當(dāng)電子槍，各區(qū)段中有一個區(qū)段的真空度下降到設(shè)定值時，真空度的變壞使真空計的模擬信號電平產(chǎn)生變化使區(qū)段閥全部關(guān)閉，并鎖死，保持其它區(qū)段的真空，等待處理和維修。該系統(tǒng)集成在兩塊電路板上，組裝在機(jī)箱內(nèi)，前面板有閥開關(guān)指示燈，和手動開關(guān)，停機(jī)檢修時采用“手動”模式，可以手動開關(guān)每一只閥門。運行期間，采用“自動”模式，系統(tǒng)全自動控制閥門，不用人為干預(yù)。后面板輸出采用多芯插座，有驅(qū)動閥門的，有連接中控室控制采樣的，分類明確，安裝連接很方便。由于集成化程度高，機(jī)箱小巧，造價低
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